质量流量控制器
MFC-100 质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量,MFC-100型质量流量控制器是基于业内先进的微机电(MEMS)流量芯片技术,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。
产品特点
● 精度高,响应快
● 长期稳定性,良好的重复性
● 温度压力影响小
● 兼容多种信号输出方式
技术参数
产品尺寸图
产品应用
● 半导体集成电路工艺、特种材料
● 化学工业、石油工业
● 医药、环保和真空等领域
● 分析检测仪器行业