PRODUCT

产品中心

넳 넲
MFC-100质量流量控制器
넳 넲

质量流量控制器

MFC-100 质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量，MFC-100型质量流量控制器是基于业内先进的微机电（MEMS）流量芯片技术，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。

产品特点

●     精度高，响应快

●     长期稳定性，良好的重复性

●     温度压力影响小

●     兼容多种信号输出方式

 

技术参数

参数名称

技术指标

量程

（0~10,20,50,100，200，500） sccm

（0~1,2,5,10,20,50） SLM

阀控类型

常闭

准确度

≤±1% F.S.

重复性

＜0.5%

工作压差

（0.1~0.4）MPa

温漂

＜0.05%F.S./℃

环境温湿度

5~40℃,0~90RH%

耐压

1MPa

输入信号

（0~5）VDC，RS485

输出信号

（0~5）VDC，RS485

气路接口

G1/4 -1/4 (SLM)；G1/4 -1/8 (SCCM)

供电电压

DC24V

功耗

＜2.4w

尺寸规格

（80*36*57）mm

 

产品尺寸图

 

产品应用

●     半导体集成电路工艺、特种材料

●     化学工业、石油工业

●     医药、环保和真空等领域

●     分析检测仪器行业

ꄴ前一个： 高效臭氧洗涤器
ꄲ后一个： 无
首页  ꄲ  精密器件系列  ꄲ  配套器件  ꄲ  质量流量控制器