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MFC-100质量流量控制器

质量流量控制器

MFC-100 质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量,MFC-100型质量流量控制器是基于业内先进的微机电(MEMS)流量芯片技术,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。

产品特点

●     精度高,响应快

●     长期稳定性,良好的重复性

●     温度压力影响小

●     兼容多种信号输出方式

 

技术参数

参数名称

技术指标

量程

(0~10,20,50,100,200,500) sccm

(0~1,2,5,10,20,50) SLM

阀控类型

常闭

准确度

≤±1% F.S.

重复性

<0.5%

工作压差

(0.1~0.4)MPa

温漂

<0.05%F.S./℃

环境温湿度

5~40℃,0~90RH%

耐压

1MPa

输入信号

(0~5)VDC,RS485

输出信号

(0~5)VDC,RS485

气路接口

G1/4 -1/4 (SLM);G1/4 -1/8 (SCCM)

供电电压

DC24V

功耗

<2.4w

尺寸规格

80*36*57mm

 

产品尺寸图

 

产品应用

●     半导体集成电路工艺、特种材料

●     化学工业、石油工业

●     医药、环保和真空等领域

●     分析检测仪器行业

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