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MFC-100质量流量控制器
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质量流量控制器

MFC-100质量流量控制器主要用于气体质量流量的精确控制和测量。MFC-100质量流量控制器基于业界先进的微机电 (MEMS) 流量芯片技术，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，开发出一种智能化、高精度的气体质量流量控制器产品，可进行精确的质量流量控制，具有精度高、响应速度快。

产品特性

●   高精度、快速响应，长期稳定性，重复性好

●   温度和压力影响不大，兼容多种信号输出模式

 

技术参数

参数名称

技术指标

范围

(0至10,20，50,100,200,500)sccm

(0 ~ 1,2，5,10，20,50) SLM

阀门控制类型

常闭

精度

≤ ± ±1% f.s.

重复性

<0.5%

工作压差

(0.1 ~ 0.4)MPa

温度漂移

<0.05 F.S./℃

环境温度和湿度

5 ~ 40 ℃,0 ~ 90RH %

耐压

1MPa

输入信号

(0 ~ 5)VDC,RS485

输出信号

(0 ~ 5)VDC,RS485

 

G1/4-1/4 (SLM);G1/4-1/8 (SCCM)

电源电压

DC24V

功耗

<2.4w

维度

(80*36*57)mm

 

产品尺寸

 

产品应用

●   半导体集成电路技术、特种材料

●   化学工业、石油工业

●   医学、环保与真空

●   分析测试仪器行业

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