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MFC-100质量流量控制器

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质量流量控制器

MFC-100质量流量控制器主要用于气体质量流量的精确控制和测量。MFC-100质量流量控制器基于业界先进的微机电 (MEMS) 流量芯片技术，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，开发出一种智能化、高精度的气体质量流量控制器产品，可进行精确的质量流量控制，具有精度高、响应速度快。

产品特性

● 高精度、快速响应，长期稳定性，重复性好

● 温度和压力影响不大，兼容多种信号输出模式

技术参数

参数名称	技术指标
范围	(0至10,20，50,100,200,500)sccm (0 ~ 1,2，5,10，20,50) SLM
阀门控制类型	常闭
精度	≤ ± ±1% f.s.
重复性	<0.5%
工作压差	(0.1 ~ 0.4)MPa
温度漂移	<0.05 F.S./℃
环境温度和湿度	5 ~ 40 ℃,0 ~ 90RH %
耐压	1MPa
输入信号	(0 ~ 5)VDC,RS485
输出信号	(0 ~ 5)VDC,RS485
	G1/4-1/4 (SLM);G1/4-1/8 (SCCM)
电源电压	DC24V
功耗	<2.4w
维度	(803657)mm