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质量流量控制器
质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量，该产品是基于业内先进的微机电（MEMS）流量芯片技术，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、紧凑型可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。产品支持数字型和模拟型两种，模拟型产品采用0～5V模拟信号输入输出，数字型产品采用RS485通讯。
产品特点
- 精度高，响应快
- 温度压力影响小
- 兼容多种信号输出方式
- 长期稳定性，良好的重复性
应用案例
典型应用：采用两路高精度质量流量控制器（MFC）进行流量控制，通过将高浓度标气和稀释气进行不同比例稀释，得到各种浓度的标气，满足不同的应用需求
技术参数
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产品型号 |
MFC-100 |
MFC-200 |
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产品外观 |
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量程 |
（0~10,20,50,100，200，500） sccm /（0~1,2,5,10,20,50） SLM |
（0~20，100,500） sccm /（0~1,2,5，10,20） SLM |
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阀控类型 |
常闭 |
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准确度 |
≤±1% F.S |
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重复性 |
＜0.5% |
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工作压差 |
（0.1~0.4）MPa |
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温漂 |
＜0.05%F.S/℃ |
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环境温湿度 |
5~40℃,0~90RH% |
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耐压 |
1MPa |
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输入信号 |
（0~5）VDC，RS485 |
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输出信号 |
（0~5）VDC，RS485 |
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气路接口 |
G1/4 -1/4 (SLM)；G1/4 -1/8 (SCCM) |
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供电电压 |
DC24V |
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功耗 |
＜2.4w |
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尺寸规格 |
（80*36*57）mm |
（80*68*24）mm |
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产品应用 |
半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业；分析检测仪器、医药、环保和真空等领域 |
稀释设备，便携分析仪，生物发酵流量过程控制；分析检测仪器、医药、环保和真空等领域 |
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